鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司是京东方科技集团股份有限公司的全资子公司,是京蒙产业对接背景下首个落地投产的高科技重大投资项目,也是内蒙古自治区政府重点推进的重大产业转型项目。该企业第5.5代LTPS/AM-OLED项目是中国自主创新、自主技术的全球最先进新型半导体显示生产线之一。在液晶面板生产工艺过程需要使用大量UPW(超纯水),是高耗水行业,因此提升水资源利用效率,对于工厂经济运行、环境保护皆效益可观。为提升水资源利用效率,减少黄河水使用量,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司在充分吸收业内同类公司节水经验的同时,不断突破创新,结合项目实际情况,多措并举,大力推进用水工艺改进,主要节水措施如下。1.设备反洗排水回收项目。创新采用双模式控制沉淀法回收UPW系统反洗水,根据产水浊度,可随时自动调整系统进水、静止、排泥时间及循环周期,系统设计产水浊度<10NTU,经过控制模式优化,产水浊度稳定在1.4NTU,产水直接进入主系统,节水量19.12万吨/年。2.高有机回收水系统回收率提升项目。通过有机2级A/O降解TOC,在经过BMSK生物强化处理,将污染物总电荷由正性转变为负性,通过气浮池系统+多介质过滤器+保安过滤器,最后通过半导体级专用低压膜脱盐及去除TOC,为业内第一例回收含有彩膜光刻胶、表面活性剂、磷酸有机废水,节水量65.7万吨/年。3.FR清净废水回收项目。该企业为大陆首条采用HF DOCKING CLEANER设备生产线,刻蚀用药主要为HF和 NH4F。是大陆行业内首次采用3B3T方式回收刻蚀清洗废水的企业,节水量151.81万吨/年。4.POU Scrubber节水改造项目。POUScrubber为工艺配套废气处理设备,采用水洗方式为设备降温洗气,通过分析论证,供水方式由直供改为内部循环,用水量降低38.78%,节水量19.45万吨/年。通过上述节水措施,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司水系统回收率由75%提升是92%;产水率比由201%提升至348%,两项综合指标均为行业第一。在项目满负荷运行的情况下,用水量从原来的530.67万立方米减少到现在的274.59万立方米,实现了企业减负和水资源高效利用双赢的目标。